WF6 galvenokārt tiek izmantots kā izejviela metāla volframa ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (CVD) procesā elektronikas rūpniecībā. No WF6 iegūto WSi2 var izmantot kā vadu materiālu liela mēroga integrālajās shēmās (LSI), kā arī kā izejvielu pusvadītāju elektrodiem, fluora izejvielām ķīmiskajiem reaģentiem, polimerizācijas katalizatoriem, optiskajiem materiāliem utt.